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退火目的是什么？在高溫（1750℃）加熱狀態下，通過高溫促使晶體晶格打亂后重新排列，同時清除一些晶格內部缺陷，從而釋放內部應力，為后續加工奠定良好的基礎。晶體退火恒溫時間為36小時；每爐次退火時間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后，晶片翹曲低于1絲，線小于2毫米、內應力、崩邊現象及線痕度得到很大的提升；加工后的晶片成品率也達到了95%以上。成品率提高了，成本又降低了很多，同時延長了晶棒的切割線的使用壽命。
主要技術參數 | ||||
型號 | LGYL-1800 單向退火爐 | LGYL-1800 雙向退火爐 | LGYL-1650 單向退火爐 | LGYL-1650 雙向退火爐 |
有效工作區尺寸（mm） | 860*340*300 | 860*340*300 | 860*420*450 | 860*420*450 |
額定功率 | 57KVA | 57KVA | 57KVA | 57KVA |
每爐裝載量 | 4寸晶棒約5800mm | 4寸晶棒約5800mm | 4寸晶片約9000mm | 4寸晶片約9000mm |
額定溫度 | 1750℃ | 1750℃ | 1600℃ | 1600℃ |
保溫材料 | 氧化鋯纖維 | 氧化鋁纖維 | ||
移動軌道行程速率 | 1040.4mm/分 | 1040.4mm/分 | 1040.4mm/分 | 1040.4mm/分 |
升降平臺行程速率 | 92.8mm/分 | 92.8mm/分 | 92.8mm/分 | 92.8mm/分 |
操控方式 | 手動與自動 | 手動與自動 | 手動與自動 | 手動與自動 |
工作電壓 | 電爐加熱380V 儀表工作220V | 電爐加熱380V 儀表工作220V | 電爐加熱380V 儀表工作220V | 電爐加熱380V 儀表工作220V |
運行機構 | 絲桿、軌道、電動運行 | 絲桿、軌道、電動運行 | 絲桿、軌道、電動運行 | 絲桿、軌道、電動運行 |
加熱元件 | 1900型硅鉬棒（U型） | 1900型硅鉬棒（U型） | 1800型硅鉬棒（U型） | 1800型硅鉬棒（U型） |
控制精度 | ≤±0.5℃ | ≤±0.5℃ | ≤±0.5℃ | ≤±0.5℃ |
控溫方式 | 100段PID智能程序控溫，可編程序控制器（PLC）控制＋觸摸屏＋工控機 | |||
電話：025-57203413
傳真：025-57492611
郵箱：zj.huang@njyulong.com
地址：南京市溧水區東屏工業園區金港路15號6幢
